由于晶圓生產(chǎn)附加值極高,因此半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的地位日益凸顯。2020年,我國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到176億元。隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,我國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模有望接近400億元。
半導(dǎo)體檢測(cè)從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終測(cè)試都不可或缺,貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程。半導(dǎo)體檢測(cè)包括設(shè)計(jì)驗(yàn)證、工藝控制檢測(cè)、晶圓測(cè)試(CP測(cè)試)以及成品測(cè)試(FT測(cè)試)。
按照電子系統(tǒng)故障檢測(cè)中的“十倍法則”,如果一個(gè)芯片中的故障沒(méi)有在芯片測(cè)試時(shí)發(fā)現(xiàn),則在電路板(PCB)級(jí)別發(fā)現(xiàn)故障的成本為芯片級(jí)別的十倍。因此,半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中扮演著重要角色,且其地位日益凸顯。